加熱盤
應(yīng)用于TF制程中,產(chǎn)品擁有高平面度及潔凈度要求,擁有極高的溫度控制能力,進(jìn)而影響薄膜的沉積能力。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
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相關(guān)方案
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點(diǎn)
高溫度均勻性
T±(0.5~1)%
電子束焊接、真空釬焊、精密加工
特種涂層
氟化膜層
國內(nèi)首家具備此鍍膜能力的零部件供應(yīng)商

高潔凈度
(Particle@0.2um<15ea/cm2)
相關(guān)方案
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計(jì)、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計(jì)、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
