RTP工藝氣體傳輸控制柜
RTP工藝氣體傳輸控制柜是用于RTP（Rapid Thermal Processing，快速熱處理）工藝中精確控制氣體傳輸和供應(yīng)的設(shè)備。它可以確保在RTP過程中氣體的穩(wěn)定、安全傳輸，以滿足快速熱處理對氣體供應(yīng)的高要求。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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產(chǎn)品參數(shù)
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點
高精度流量控制
通過精確的閥門系統(tǒng)和流量控制器，實現(xiàn)對特種氣體的精確傳輸和控制
確保氣體流量、壓力等參數(shù)的穩(wěn)定性
安全穩(wěn)定性
氣柜配有門互鎖開關(guān)、壓力安全開關(guān)、單向閥、火焰報警器等安全部件保證氣柜安全
設(shè)備采用防爆、防腐等設(shè)計，提高了設(shè)備的安全性能
高氣密性
產(chǎn)品采用IGS和VCR接口形式
實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備的高氣密性
高潔凈度
采用高精度過濾器能夠去除3nm以上的顆粒雜質(zhì)
安全認(rèn)證
通過SEMI S6測試安全認(rèn)證
產(chǎn)品參數(shù)
| 外漏測試漏率 | ≤1.0X10-11/mbar·L/s |
| 內(nèi)漏測試漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s |
| 保壓測試50psi | 氮氣保壓測試, 保壓12h,壓降 ≤1% |
| 氦爆測試漏率 | ≤1.0X10-9/mbar·L/s;（可選） |
| 顆粒測試 | (5 particle @ >0.1um) |
| 水氧測試 | 水含量≤10PPB，氧含量≤10PPB；（可選） |
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
