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等離子噴涂技術(shù)
  • 技術(shù)簡介
  • 技術(shù)特點
  • 應(yīng)用場景

等離子噴涂技術(shù)

等離子噴涂（PS)是使用直流電源驅(qū)動，通過陰極與陽極之間產(chǎn)生超高溫度的電弧等離子體，進而瞬間加熱陶瓷等材料形成半熔融化，沉積在基材表面生成涂層的工藝方式。

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等離子噴涂技術(shù)

技術(shù)特點

等離子噴涂（PS）生成的涂層

具有高化學(xué)穩(wěn)定性、高耐腐蝕性、高抗電性能及高潔凈度等優(yōu)點

01

應(yīng)用場景

等離子噴涂（PS)產(chǎn)品最常應(yīng)用于刻蝕機臺內(nèi)與核心反應(yīng)區(qū)域直接接觸的內(nèi)襯（Liner）等套件，以及PECVD、離子注入等兼具電學(xué)與化學(xué)腐蝕環(huán)境的機臺中，對強鹵族元素形成的等離子體如CF4、SF6 、Cl2、HBr等均有很好的耐腐蝕作用

等離子噴涂（PS)產(chǎn)品最常應(yīng)用于刻蝕機臺內(nèi)與核心反應(yīng)區(qū)域直接接觸的內(nèi)襯（Liner）等套件，以及PECVD、離子注入等兼具電學(xué)與化學(xué)腐蝕環(huán)境的機臺中，對強鹵族元素形成的等離子體如CF4、SF6 、Cl2、HBr等均有很好的耐腐蝕作用

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