內(nèi)襯
應(yīng)用于ETCH反應(yīng)腔內(nèi)，與機(jī)臺等離子體直接接觸的核心工藝部件，主要在等離子體刻蝕環(huán)境中起到側(cè)壁防護(hù)作用
咨詢專家
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產(chǎn)品特點(diǎn)
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相關(guān)方案
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點(diǎn)
使用外壁陽極氧化
內(nèi)壁高純釔基涂層做防護(hù)，提高產(chǎn)品壽命
使用等離子噴涂技術(shù)做高純釔基涂層
具備極高的化學(xué)穩(wěn)定性及耐酸堿耐電壓耐等離子腐蝕的涂層表面技術(shù)做防護(hù)，使得部件與等離子體直接接觸
高耐腐蝕
高耐腐蝕的設(shè)備零部件是芯片制程設(shè)備的功能需求，零件的耐腐蝕性能決定了設(shè)備的功能性、可靠性、和設(shè)備在線停機(jī)維護(hù)的頻次高低。
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計(jì)、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計(jì)、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
