工藝腔室主體
用于承載晶圓進行各種加工和處理。?基座是半導體工藝設備中的一個關鍵組件,?它的設計和性能對半導體制造過程至關重要,是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的重要基礎。
-
產(chǎn)品特點
-
產(chǎn)品參數(shù)
-
相關方案
-
質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點
高精密
高密封性要求
制造工序繁瑣
需多次焊接及加工
產(chǎn)品參數(shù)
材料 | 不銹鋼 |
焊接方式 | 電子束 |
表面處理 | 電拋+氦測 |
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質(zhì)量服務,從研發(fā)、設計、過程全生命周期質(zhì)量管理關注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構建成以以預防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
